問題

原因

解決方法

【ON】按钮不工作

1、總配電櫃上空開未閉合
2、中央控制櫃前門上的空開（AUT1）未閉合
3、偏壓電源後面板上空開未閉合
4、前門未關閉或門上感應開關失效
5、多芯控制電纜（XG7/XG71）有問題
6、控制面板上的多芯插頭未連接
7、高真空閥（V3）未打開
8、工件轉架未轉動
9、控制面板上【ON】按钮損壞
10、系統控制板（A1）接線端子虛接

1、將其閉合
2、將其閉合
3、閉合空開
4、關閉門或更換開關
5、檢查並插好電纜
6、檢查並插上
7、打開V3閥
8、啓動工件轉架
9、更換一支
10、檢查並拧緊

電壓不可調

1、系統控制板（A1）接線端子虛接
2、多芯控制電纜（XG7/XG71）有 問題
3、其它電源中的問題

1、檢查並拧緊
2、檢修並插好電纜
3、找到並更換

電源脈沖占空比不可調

1、系統控制板（A1）接線端子虛接
2、多芯控制電纜（XG7/XG71）有 問題
3、其它電源中的問題

1、檢查並拧緊
2、檢修並插好電纜
3、找到並更換

【ON】按钮不工作

1、總配電櫃中的空開（Auto 1）未閉合
2、中央控制櫃前門上的空開（AUT1）未閉合
3、功率輸出板（A2）上的空開（AUT5）未閉合
4、控制面板上的多芯插頭未連接
5、系統未上電
6、系統控制板（A1）和功率輸出板（A2）間接線端子問題
7、系統控制板（A1）到面板的電纜沒有插好
8、加熱器電源或溫控器的問題

1、將其閉合
2、將其閉合
3、將其閉合
4、檢查並插上
5、系統上電
6、檢查並接通
7、檢查並插好
8、找出並更換

“ON”開關不工作

1、總配電櫃中的空開未閉合
2、中央控制櫃前門上的空開（AUT1）未閉合
3、電源前面板上的空開未閉合
4、控制電纜連接失敗
5、電源電纜未插好
6、高閥V3未開
7、工件轉架未轉動
8、偏壓電源未啓動
9、系統控制板（A1）到面板上的電纜沒有插好
10、“ON”開關損壞

1、將其閉合
2、將其閉合
3、將其閉合
4、檢查並插上
5、將其插好
6、打開高閥
7、啓動轉架
8、啓動偏壓電源
9、檢查並將之插好
10、找出並更換

電壓輸出（空載）< 60 V

1、總配電櫃中的空開接觸不好，造成電源缺相
2、電源上空開接觸不好，造成電源缺相
3、AC繼電器接觸不好，造成電源缺相
4、其它電源裏的問題

1、更換它
2、更換它
3、更換它
4、找出並修理

電流不可調

1、控制電纜連接失敗
2、電流旋钮（電位器）壞了
3、電源中的電流調整電路板壞了
4、其它電源中的問題

1、將它們裝好
2、檢查並更換
3、找出並更換 
4、找出並更換

蒸發源不引弧

1、引弧針未挨着Ti塊
2、引弧電路中的空開未閉合
3、控制電纜插錯插座
4、引弧板損壞
5、沒有壓縮空氣

1、調整引弧針位置
2、將其閉合
3、檢查並糾正它
4、檢查並更換它
5、檢查並供給壓縮空氣

真空泵未開啓

1、中央控制櫃上的空開（AUT1）未開
2、功率輸出板上的空開（AUT2，3,4）未閉合
3、真空室前門未關
4、節流閥（V4）未全開
5、過流繼電器動作

1、將其閉合
2、將它們閉合
3、將前門關好
4、打開節流閥
5、將其複位

抽真空時間太長

1、空氣太潮濕
2、真空室溫度太高
3、真空室工件滿載
4、真空室太髒
5、機械泵油變質
6、真空計電纜連接失敗
7、真空規管壞了
8、真空計失去控制
9、存在真空室漏氣：空氣或冷卻水進入了真空室
10、機械泵缺油

1、當真空室打開時保持加熱狀態
2、正常
3、正常
4、徹底打掃真空室
5、換油
6、檢查並糾正它
7、檢查並更換它
8、檢查並改進它
9、找出並更換它
10、檢查並加油

真空閥不動

1、沒有壓縮空氣
2、換向閥閥的電磁線圈損壞
3、換向閥損壞

1、檢查壓縮器和管道
2、更換一個新的線圈
3、更換一個新的閥

“ON”開關未開啓

氣體質量流量不可調

中央控制系統

按下【SYSTEM ON】不上電

【RECYCLE】不能啓動自動镀膜程序

上位計算機（IPC）

計算機不工作

點擊設備上位機監控軟件不能啓動