- 詳細介紹
AS710DTXB技術規格
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● 真空室尺寸：直徑 900mm x 高度1200mm
● 均勻可镀區：直徑 650mm x 高度800mm
● 工件轉架系統：可移出式下裝工件轉架、帶可升降液壓推車，多種結構任選（1/4/6/8/9/12軸）
● 真空泵系統：粗抽泵（帶粉塵過濾器）+羅茨泵+分子泵+前級泵
● 工藝氣體進氣系統：4路數字控制MFC
● 真空檢測系統：複合真空計+薄膜真空規
● 偏壓電源：直流（脈沖）30KW（水冷）
● Smart智能擋板系統：1套
● 4G-CAE®電弧：16套（4列*4套/列）
● 弧電源：CAE-150C，150A連續工作時間大于5小時
● GISETCH®模塊：1套（GIS+AE Pinnacle Plus+ 10KW驅動電源）
● 控制系統：IPC+PLC全自動控制
● 加熱模塊：≥500℃
● 電力要求：100KVA，380-400V，50-60Hz
● 冷卻水要求：6.0 ton/hr， Δ2.5kg/cm2，20-25℃
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| 轉架推車圖 | 夾具裝載圖 |
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| 虛擬手動操作界面 | 主監控界面顯示所有參數 |
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| 镀膜樣品-滾齒刀 | 镀膜樣品-立铣刀 |
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