真空镀膜機的結構原理
發布時間：2023-05-12
一、電控櫃的操作
1.開水泵、氣源
2.開總電源
3.開保持泵、真空計電源,真空計档方位V1方位,等候其值小于10後,再進入下一步操作.約需5分鍾.
4.開機械泵、予抽,開渦輪分子泵電源、啓動,真空計開關換到V2方位,抽到小于2停止,約需20分鍾.
5.觀察渦輪分子泵讀數抵達250今後,關予抽,開前機和高閥持續抽真空,抽真空抵達必定程度後才能開右邊的高真空表頭,觀察真空度.真空抵達2×10-3今後才能開電子槍電源.
二、DEF-6B電子槍電源櫃的操作
1.總電源
2.一起開電子槍操控Ⅰ和電子槍操控Ⅱ電源：按電子槍操控Ⅰ電源、延時開關,延時、電源及維護燈亮,三分鍾後延時及維護燈滅,若後門未關好或水流繼電器有毛病,維護燈會常亮.
3.開高壓,高壓會達到10KV以上,調理束流可到200mA左右,簾柵爲20V/100mA,燈絲電流1.2A,偏轉電流在1~1.7之間搖擺.
三、關機次序
1.關高真空表頭、關分子泵.
2.待分子泵顯現到50時,依次關高閥、前級、機械泵,這期間約需40分鍾.
3.到50以下時,再關保持泵.
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