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離子镀膜PVD塗層設備解決方案

解決方案

SOLUTION

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DLC塗層  塗層設備解決方案 當前位置:主頁 > 解決方案 > DLC塗層
目標客戶
塗層中心、醫療行業、切削加工領域等
方案核心
能夠提供DLC塗層設備及整套工藝技術

 

解決方案及優勢 

 
DLC塗層結構圖

        DLC(Diamond Like Carbon)塗層又叫類金剛石塗層,它是一種新型的硬質潤滑功能塗層材料,具有SP2和SP3電子軌道雜化的碳原子空間網絡結構,通常爲非晶態或非晶-納米晶複合結構。DLC塗層具有較高的硬度、優異的減摩耐磨性能、高熱導率、低介電常數、寬帶隙、良好的光學透過性以及優異的化學惰性和生物兼容性等,在機械、電子、光學、裝飾外觀保護、生物醫學等領域有着廣闊的應用前景。DLC塗層適合于磨損和滑動的環境下,在沒有任何潤滑介質的條件下,可以降低摩擦損耗,可以用于汽車發動機零部件(燃油噴射系統、動力傳動系統)、軸承、滾輪、紡織機械、飛行等衆多領域。
        DLC薄膜的制備方法有多種,目前常用的主要有物理氣相沉積(PVD)、化學氣相沉積(CVD)以及液相法等。我公司利用GIMS®氣體離子源增強磁控溅射技術制備DLC塗層,向GIS離子源中通入C2H2或CH4等含C氣體,GIS放電後分解和離化出C原子和H原子,制備DLC塗層,同時啓動MS溅射靶,镀制出掺雜Ti、Cr、W等金屬的Me-DLC塗層,DLC塗層硬度2000HV,摩擦系數:0.1-0.2。


 


適用DLC塗層設備

1、AS600DMTXB


镀膜樣品示例

        
汽車零部件                                                汽車零部件                                            喇叭膜
         
翻邊模具                                                 光盤模具                                         高爾夫球頭

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