真空镀膜機故障的相應處理方法
發布時間：2017-08-07
真空镀膜機把握了毛病的原因，就很簡單知道處理辦法了。下面信輝源科技爲我們共享下它的常見毛病以及處理方式辦法：
當镀膜機呈現毛病後應首先要向使用者了解毛病的現象，之後要親身開機調查毛病，這樣才幹更精確、更快、更合理的排除毛病。
排除毛病應先檢測低真空是否正常（機械泵、羅茨泵、管道、下室、蒸騰室），低真空正常後再開主泵，主泵作業正常後檢測下室真空中是否正常，下室真空正常再 開高閥進行高真空檢測檢漏，直至到達作業真空，極限真空、保真空、康複真空，如極限真空和保真空正常，而康複真空和作業真空不正常則可能主泵有問題。
以下羅列常見毛病及修理辦法：
一、當正在镀膜時真空度俄然下降
1、蒸騰源水路膠圈損環（替換膠圈）
2、坩埚被打穿（替換坩埚）
3、高壓電極密封處被擊穿（替換膠圈）
4、工滾動密封處膠圈損壞（替換膠圈）
5、預閥俄然封閉可能是二位五通閥損壞（替換二位五通閥）
6、高閥俄然封閉可能是二位五通閥損壞（替換二位五通閥）
7、機械泵停機可能是繼電器斷開（查看繼電器是否作業正常）
8、烘烤引進線電極密封處被擊穿（替換膠圈）
9、擋板動密封處膠圈損壞（替換膠圈）
10、玻璃調查視鏡呈現裂紋、迸裂（替換玻璃）
11.分散泵部分不加熱。(替換分散泵電磁加熱器）
之前分散泵都是使用電爐盤加熱的，因爲本身發熱再把熱量傳遞到泵底，這樣長時刻處于高溫就壽命短，簡單燒壞。現在新式的電磁加熱器加熱分散泵泵底，電磁線盤直接產生磁場使泵底發熱，使用壽命至少10年以上，加熱功率也提高1/3，還省電環保，我們能夠試試。
二、長時刻作業的镀膜機抽真空的時刻很長且達不到作業真空、康複真空、極限真空、保真空：
1、蒸騰室有許多粉塵（應清冼）
2、分散泵好久未換油（應清冼換油）
3、前級泵反壓強太大機械泵真空度太低（應清冼換油）
4、各動密封膠圈損壞（替換膠圈）
5、因爲蒸騰室長時刻溫度過高使其各密封膠圈老化（替換膠圈）
6、蒸騰室各引進水路密封處是否有膠圈損壞（替換膠圈）
7、各引進座螺釘、螺母有無松動現象（從頭壓緊）
8、凹凸預閥是否密封可靠
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