真空镀膜機常見的故障和維修辦法
發布時間：2017-07-06
當真空镀膜機出現故障後應首先要向使用者了解故障的現象，之後要親自開機觀察故障，這樣才能更准確、更快、更合理的排除故障。
當真空镀膜機排除故障應先檢測低真空是否正常（機械泵、羅茨泵、管道、下室、蒸發室），低真空正常後再開主泵，主泵正常後檢測下室真空中是否正常，下室真空正常再開高閥進行高真空檢測檢漏，直至達到真空，極限真空、保真空、恢複真空，如極限真空和保真空正常，而恢複真空和真空不正常則可能主泵有問題。
以下列舉真空镀膜機常見故障及維修方法：
一、當正在镀膜時真空度突然下降
1、蒸發源水路膠圈損環（更換膠圈）
2、坩埚被打穿（更換坩埚）
3、高壓電極密封處被擊穿（更換膠圈）
4、工轉動密封處膠圈損壞（更換膠圈）
5、預閥突然關閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥）
6、高閥突然關閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥）
7、機械泵停機可能是繼電器斷開（檢查繼電器是否正常）
8、烘烤引入線電極密封處被擊穿（更換膠圈）
9、擋板動密封處膠圈損壞（更換膠圈）
10、玻璃觀察視鏡出現裂紋、炸裂（更換玻璃）
二、長期的镀膜機抽真空的時間很長且達不到真空、恢複真空、極限真空、保真空：
1、蒸發室有很多粉塵（應清冼）
2、擴散泵很久未換油（應清冼換油）
3、前級泵反壓強太大機械泵真空度太低（應清冼換油）
4、各動密封膠圈損壞（更換膠圈）
5、由于蒸發室長期溫度過高使其各密封膠圈老化（更換膠圈）
6、蒸發室各引入水路密封處是否有膠圈損壞（更換膠圈）
7、各引入座螺釘、螺母有無松動現象（重新壓緊）
8、高低預閥是否密封可靠（注油）
常見的真空镀膜機維修辦法就先分享到這裏了。
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