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eHorizon HL系列 磁控溅射臥式連續镀膜設備

行業應用解決方案:
● 光伏行業
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面向光伏行業和磁性材料行業的臥式磁控溅射镀膜設備。

技術規格如下:

基材種類 金屬、玻璃、陶瓷、塑料等
基材寬幅 1000-2200mm
基片走速 30-1000mm/min
薄膜均勻性 ±5%
靶材利用率 平面陰極≥30%,移動平面陰極≥60%,旋轉陰極≥80%

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