eArctic AS510DMTXB
AS510DMTXB是專爲硬質合金刀片設計的一款PVD塗層設備，運用了GAMS多元塗層技術，GAMS運用了包括：GISETCH ：氣體離子刻蝕及輔助沉積技術、4G-CAE ：第四代陰極電弧技術、UBMS非平衡磁控溅射...<
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- 詳細介紹
AS510DMTXB是專爲硬質合金刀片等小尺寸现有產品設計的一款PVD塗層設備，運用了GAMS多元塗層技術，GAMS運用了包括：GISETCH®：氣體離子刻蝕及輔助沉積技術、4G-CAE®：第四代陰極電弧技術、UBMS非平衡磁控溅射技術和Smart Shutter智能源擋板技術，可以镀制SINOX4系列五元合金（Al、Ti、Cr、Me、Si）氮氧化物塗層，技術規格如下：
| 真空室尺寸 | Ø800mm * H700mm |
| 均勻可镀區 | Ø500mm * H300mm |
| 極限真空度 | 3.0*E-4Pa |
| 壓升率 | 0.2Pa/hr |
| 冷卻水 | 6ton/hr |
| 占據空間 | 4.5*4.0*3.5 |
| 抽氣系統 | 磁懸浮渦輪分子泵抽真空系統 |
| 真空檢測 | 複合真空計+薄膜真空規 |
| 工藝氣體MFC | 4路 |
| 轉架 | 可移出式下轉架（4軸、5軸、6軸、8軸任選） |
| 4G-CAE®第四代陰極電弧系統 | 8套（4列） |
| UBMS非平衡磁控溅射系統 | 2套 |
| GISETCH®氣體離子刻蝕及輔助沉積系統 | 1套 |
| 偏壓電源 | 1套 |
| Smart智能源擋板 | 1套 |
| 加熱系統 | 550度，3根熱電偶監測 |
| 冷卻水循環系統 | 配日本SMC水流開關，智能控制 |
| 自動控制 | IPC+PLC全自動控制 |
| 裝載量 | 1800片/爐（以Φ20*6mm規格刀片爲例） |
| 生產運行周期 | SINX4系列和SINOX4系列塗層（3μm），5.5小時/爐 |
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